[实用新型]形状测量装置有效
申请号: | 201420204535.6 | 申请日: | 2014-04-24 |
公开(公告)号: | CN203837664U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 吉田太郎;大渊一人;上原诚 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 刘宗杰;吕琳 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本实用新型的形状测量装置通过提高光源光的受光效率,不提高光源输出,而确保所希望的受光量。形状测量装置(1)具备向被测量物体(W)的设置面(2)投射光的投光部(3)和接收由投光部(3)投射的光的受光部(4),通过受光部(4)的输出来测量被测量物体的形状和尺寸,其中,投光部(3)具备光源(10)、入射从光源(10)射出的光的杆积分器(11)、以及具有能够取入从杆积分器(11)的光射出面(11A)射出的全光束的开口数和视场而且至少在被测量物体侧呈远心状态的投光光学系统(20),受光部(4)具备接收被测量物体的投影影像的拍摄元件(12)和使设置面(2)与拍摄元件(12)的受光面成为共轭关系的物体侧远心受光光学系统(30),投光光学系统(20)内部的开口光圈(22)与受光光学系统(30)内部的开口光圈(33)处于共轭关系。 | ||
搜索关键词: | 形状 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种形状测量装置,其具备向被测量物体的设置面投射光的投光部和接收由所述投光部投射的光的受光部,通过所述受光部的输出来测量被测量物体的形状和尺寸,其特征在于, 所述投光部具备光源、杆积分器及投光光学系统,所述杆积分器中入射从所述光源射出的光,所述投光光学系统具有能够取入从所述杆积分器的光射出面射出的全光束的开口数和视场,且至少在所述被测量物体侧呈远心状态, 所述受光部具备拍摄元件和物体侧远心受光光学系统,所述拍摄元件接收被测量物体的投影影像,所述物体侧远心受光光学系统使所述设置面与所述拍摄元件的受光面成为共轭关系, 所述投光光学系统内部的开口光圈与所述受光光学系统内部的开口光圈处于共轭关系。
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