[实用新型]一种改进型化学镀铜装置

摘要

本实用新型公开了一种改进型化学镀铜装置，包括：一反应槽体，所述反应槽体包括相互独立设置的主槽和附槽，所述主槽与所述附槽之间通过一安装有过滤网的隔板分割开来，所述过滤网位于隔板上部，加工溶液经过滤网流进或流出主槽；所述主槽两侧滑动设置一超声波换能器，所述超声波换能器连接一超声波发生器，所述主槽的上方还设置一气泵，一气泵通过管路连接的酸液槽，以及一与所述管路连接的若干个高压喷头，所述高压喷头设置于主槽的上端，且高压喷头均朝向主槽底部。本实用新型利用超声波发生器并结合喷淋清洗装置，使得在利用很少酸性溶液的基础上，能迅速清洗反应槽，具有结构简单，使用方便的特点。

主权项

一种改进型化学镀铜装置，其特征在于，包括：一反应槽体，所述反应槽体包括相互独立设置的主槽和附槽，所述主槽与所述附槽之间通过一安装有过滤网的隔板分割开来，所述过滤网位于隔板上部，加工溶液经过滤网流进或流出主槽；所述主槽两侧滑动设置一超声波换能器，所述超声波换能器连接一超声波发生器，所述主槽的上方还设置一气泵，一气泵通过管路连接的酸液槽，以及一与所述管路连接的若干个高压喷头，所述高压喷头设置于主槽的上端，且高压喷头均朝向主槽底部。