[实用新型]劈刀限位结构

摘要

本实用新型提供一种劈刀限位结构，供劈裂一晶圆，其包含一劈裂刀、一弹性固定件、一乘载板、一振动单元与一限位单元，其中该弹性固定件能弹性复位地固定于该乘载板上，该劈裂刀朝向该晶圆且固定于该弹性固定件上，该振动单元固定于该乘载板上且具有驱使该劈裂刀朝该晶圆移动的一位移部，该限位单元具有一下限位块，该下限位块固定于该乘载板且卡抵该劈裂刀限制穿入该晶圆的移动量，据此通过该下限位块的卡抵可以避免该劈裂刀的行程太大，避免过度挤压该晶圆而产生崩角，藉以满足提升劈裂良率的需求。

主权项

一种劈刀限位结构，供劈裂一晶圆，其特征在于，所述劈刀限位结构包含：一乘载板；一弹性固定件，所述弹性固定件能弹性复位地固定于所述乘载板上；一劈裂刀，所述劈裂刀朝向所述晶圆且固定于所述弹性固定件上；一振动单元，所述振动单元固定于所述乘载板上且具有驱使所述劈裂刀朝所述晶圆移动的一位移部；以及一限位单元，所述限位单元具有一下限位块，所述下限位块固定于所述乘载板上且卡抵所述劈裂刀以限制所述劈裂刀穿入所述晶圆的移动量。