[实用新型]一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置

摘要

本实用新型公开了一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，它包括真空气压监控装置、装载框架（1）、曝光箱（2）和装载箱（3），装载框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），下框架（18）设置有抽真空通道、抽真空气孔（11）和抽真空接头（12），真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型的有益效果是：提高了曝光效率，装载工作方便、容易进行，能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量。

主权项

一种具有真空气压监控功能的感光膜曝光装置，其特征在于：它包括真空气压监控装置、装载框架（1）、以及依次连接为一体的曝光箱（2）和装载箱（3），曝光箱（2）和装载箱（3）上均设置有用于安装装载框架（1）的水平导轨，曝光箱（2）位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源（6），所述的装载框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）和下框架（18）通过设置于后侧面上的合页（7）连接为一体，上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的顶面上设置有容置上框架（17）的凹槽（9），该凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），下框架（18）内部设置有抽真空通道，下框架（18）位于上透光板（8）和下透光板（10）之间的部分上设置有抽真空气孔（11），下框架（18）上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头（12），抽真空接头（12）通过抽真空通道与抽真空气孔（11）连通，所述的下框架（18）的左右两侧均设置有水平凸棱（13），下框架（18）的水平凸棱（13）滑动安装于曝光箱（2）和装载箱（3）的水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头（12）通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架（18）的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。