[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420226942.7 | 申请日： | 2014-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN203883992U | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王友;张庆斌 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括外部封装结构，所述外部封装结构包括线路板以及形成侧壁的中空腔体和顶板，封装结构内部设置有MEMS芯片及ASIC芯片，顶板上设置有声孔，在封装结构外部的顶板上设置有防尘网，防尘网包括用于与顶板固定的粘性部和覆盖于声孔上的非粘性部。可以有效避免外界的异物颗粒如焊锡、灰尘等易通过声孔进入到MEMS麦克风内部，对MEMS麦克风性能造成隐患；同时，防止在封装过程中外界气流进入到MEMS麦克风腔体中直接作用到MEMS芯片，导致MEMS膜片破裂，以及防止MEMS麦克风在通过回流焊时，腔体内气体膨胀无法迅速排出导致的MEMS芯片的膜片被震裂的情况。因此，本实用新型MEMS麦克风，具有防尘防气流性能好，可靠性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括外部封装结构，所述外部封装结构包括线路板以及形成侧壁的中空腔体和顶板，所述封装结构内部设置有MEMS芯片及ASIC芯片，所述顶板上设置有声孔，其特征在于：所述封装结构外部的所述顶板上贴装有防尘网，所述防尘网包括用于与所述顶板固定的粘性部和与所述粘性部连接的非粘性部，所述非粘性部覆盖于所述声孔上。
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