[实用新型]提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置有效
| 申请号： | 201420235037.8 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN203835682U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘雪峰;张辉;李小光;王鹏;赵大伟 | 申请（专利权）人： | 沈阳洪生气体有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/16 | 分类号： | F04B39/16;F04B37/14 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军;周智博 |
| 地址： | 110027 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，该装置由内而外主要分为液氮层、被抽真空气体走气层和绝热层，液氮层设置在整个装置的最内层，绝热层设置在三层的最外层，液氮层与绝热层之间形成的空腔为被抽真空气体走气层，被抽真空气体走气层与抽真空进口和抽真空出口连通。本实用新型在抽真空的过程中可以很好的去除水汽，又不增加气体的阻力，大大提高了抽真空效率的同时，提高了真空泵油的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 高纯 气体 处理 真空泵 效率 装置 | ||
【主权项】：
一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：该装置由内而外主要分为液氮层（1）、被抽真空气体走气层（2）和绝热层（3），液氮层（1）设置在整个装置的最内层，绝热层（3）设置在三层的最外层，液氮层（1）与绝热层（3）之间形成的空腔为被抽真空气体走气层（2），被抽真空气体走气层（2）与抽真空进口（6）和抽真空出口（7）连通。
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