[实用新型]用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统有效
| 申请号： | 201420239456.9 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN203923365U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赵军;刘钧;陈金良;许倩斐 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统，属于真空镀膜中的玻璃基板传输技术及关键工艺装备。本实用新型用于真空镀膜的玻璃基板架包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板的底面封闭的或底面中空的边框容置区。具有所述玻璃基板架的镀膜系统还包括玻璃基板架传输装置以及与玻璃基板架平行设置的镀膜装置。本实用新型用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统结构简单，通过设置玻璃基板架的凹形边框容置区结构及玻璃基板架和凹形边框容置区的各自位置关系代替夹具实现玻璃基板的稳固传输，解决了因夹具影响使得玻璃基板镀膜阴影、小颗粒污染等镀膜良品率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 玻璃 基板架 及其 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
用于真空镀膜的玻璃基板架，其特征在于，包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板（1）的底面封闭或底面中空的边框容置区(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江上方电子装备有限公司，未经浙江上方电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420239456.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：固定结构及加湿器
- 下一篇：新型空调机热量回收装置
- 同类专利
- 专利分类
