[实用新型]新型闭路循环真空机组

摘要

本实用新型公开了新型闭路循环真空机组，该真空机组包括罗茨泵组和双级水环泵，罗茨泵组和双级水环泵通过管路相连，罗茨泵组与双级水环泵之间的管路上设有阀门和止回阀。有益效果：本实用新型的真空机组结构紧凑，排量大，性能稳定，使用寿命长；一般来说，单级水环泵极限真空度不高，采用双级水环泵，提高了真空机组的极限真空度；一台罗茨泵的极限真空度较低，特别是当它与水环泵组合运行时，使用范围受到限制，使整个机组的极限真空度可能更低，使用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，大大提高了真空机组的极限真空度。

主权项

 新型闭路循环真空机组，其特征在于：该机组包括罗茨泵组和双级水环泵，所述罗茨泵组和双级水环泵通过管路相连，所述罗茨泵组与双级水环泵之间的管路上设有阀门和止回阀，所述罗茨泵组由罗茨泵Ⅰ和罗茨泵Ⅱ串联而成，所述罗茨泵Ⅰ上设有总进气口，所述双级水环泵由水环泵Ⅰ和水环泵Ⅱ连接而成，所述水环泵Ⅱ上设有总出气口。