[实用新型]OLED器件制造设备

摘要

OLED器件制造设备，属于有机光电子产业技术领域，为解决OLED中的有机材料和金属电极对水、氧敏感性和各部分单一制备的问题，该设备中过度单元通过闸板伐连通手套箱和装片单元，装片单元再通过闸板伐传入样片传递转换单元，样片传递转换单元前后左右，各有连接口，分别通过闸板伐连接到器件制备单元、磁控溅射单元和电子束单元；解决了OLED器件从玻璃样品进入，在真空状态下，直接出产成品的过程，该设备采用“团簇式”结构，不但节约了空间，而且通过传递交换室使磁控溅射单元、器件蒸发单元、电子束单元和封装单元更好的结合到了一起，真正实现了全真空无相互污染的OLED生产技术，而“团簇式”结构也利于设备检修和维护。

主权项

OLED器件制造设备，其特征是，该设备中过度单元(1)通过闸板伐(7)连通手套箱(8)和装片单元(2)，装片单元(2)再通过闸板伐(7‑1)传入样片传递转换单元(3)、样片传递转换单元(3)前后左右，各有连接口；样片传递转换单元(3)分别通过闸板伐连接到器件制备单元(4)、磁控溅射单元(5)、闸板伐(7‑4)和电子束单元(6)。