[实用新型]直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置有效

专利信息
申请号: 201420257510.2 申请日: 2014-05-20
公开(公告)号: CN204022992U 公开(公告)日: 2014-12-17
发明(设计)人: 栗宁 申请(专利权)人: 银川隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B15/04 分类号: C30B15/04;C30B29/06
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 罗笛
地址: 750021 宁夏回族自治区银*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置,包括盛装掺杂剂的石英质托,石英质托通过连接件与籽晶夹头活动连接,石英质托上设有磁性转轴,磁性转轴与连接件磁力吸附。石英质托为板状,磁性转轴设置在石英质托的一边,该边有缺口,连接件为金属套环,金属套环的环柄在该缺口处与石英质托活动连接且与磁性转轴磁力吸附。本实用新型将石英质托通过连接件与籽晶夹头活动连接,石英质托通过磁性转轴与连接件磁力吸附,使用时,下降籽晶到熔硅液面附近,液面高温使磁性转轴消磁,石英质托在重力作用下绕磁性转轴转动,其上的掺杂剂即可自动加入石英坩埚内,实现了掺杂剂的自动加入,克服了现有技术操作不便且耗时耗工的问题,结构简单,加工方便。
搜索关键词: 直拉法 生产 单晶硅 添加 掺杂 装置
【主权项】:
直拉法生产单晶硅用添加掺杂剂的装置,其特征在于:包括盛装掺杂剂的石英质托(8‑2),所述石英质托(8‑2)通过连接件与籽晶夹头(3)活动连接。 
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