[实用新型]抑制电极以及离子注入机有效
| 申请号： | 201420258903.5 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203895408U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈晓;栗保安;刘群超 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种抑制电极，该抑制电极包括一入射板，所述入射板包括至少三个入射板电极以及一入射板孔，所述至少三个入射板电极旋转排列形成所述入射板孔，每一所述入射板电极分别连接一可调电压。本实用新型还提供一种包含上述抑制电极的离子注入机。在所述抑制电极中，当离子注入机的电弧腔所产生的离子被吸引流入所述入射板孔，通过调整每一所述入射板电极所连接的可调电压的电压大小，改变所述入射板孔内的电场方向，从而改变所述离子的流动方向，使得流过所述入射板孔后形成的离子束流的方向具有可控性。 | ||
| 搜索关键词： | 抑制 电极 以及 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种抑制电极，其特征在于，所述抑制电极包括一入射板，所述入射板包括至少三个入射板电极以及一入射板孔，所述至少三个入射板电极旋转排列形成所述入射板孔，每一所述入射板电极分别连接一可调电压。
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