[实用新型]冲洗装置有效
| 申请号： | 201420260156.9 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203955603U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 赵合明;刘轩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型的冲洗装置包括腔室，连接所述腔室的注入管道和冲洗管道，还包括一净化装置，通过进气管道和出气管道将净化气体注入腔室中以取代腔室中的氧气，并能通过阀门使腔室中保持一定的压力。另外，将注入管道加长，延伸至腔室的底部，防止了将腔室中上部的氧气带入冲洗液中，更好地实现了减少冲洗液中的溶解氧，以达到保护衬底上金属层的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 冲洗 装置 | ||
【主权项】：
一种冲洗装置，包含腔室，连通所述腔室的注入管道以及冲洗管道，其特征在于：还包含连接所述腔室的净化装置，所述净化装置连接所述腔室的上方，且包括进气管道和出气管道。
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