[实用新型]一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置有效
| 申请号： | 201420268398.2 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203869787U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 孙海知;郭晓萌;郭宽新;朱松涛;邢国强 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/12 | 分类号： | G01K7/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种能够减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，包括：所述多晶硅铸锭炉包括炉壁、热场、热交换台、加热器、石英坩埚，所述的热场设于炉壁内侧，所述的石英坩埚设于热场内，坩埚外侧设于加热器两侧，所述的坩埚设于热交换台下，其特征在于：包括热电偶、恒温箱，所述的热电偶包括热电偶热端、热电偶冷端、热电偶引出线，所述的热电偶热端伸入热场内，热电偶冷端露出炉壁外部，恒温箱将热电偶冷端罩住，所述热电偶冷端连接导线，导线将热电偶冷端的信号引出至恒温箱外。本实用新型结构简单，通过在热电偶冷端增设恒温箱，有效提高多晶硅铸锭炉的测温精确度，有益效果明显，适于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 多晶 铸锭 测温 偏差 装置 | ||
【主权项】：
一种减少多晶硅铸锭炉测温偏差的装置，所述多晶硅铸锭炉包括炉壁（1）、热场、热交换台（5）、加热器（3）、石英坩埚（2），所述的热场设于炉壁（1）内侧，所述的石英坩埚（2）设于热场内，坩埚外侧设于加热器（3）两侧，所述的坩埚设于热交换台（5）下，其特征在于：包括热电偶（6）、恒温箱（7），所述的热电偶（6）包括热电偶热端（61）、热电偶冷端（62）、导线（63），所述的热电偶（6）热端（61）热端伸入热场内，热电偶冷端（62）露出炉壁（1）外部，恒温箱（7）将热电偶（6）冷端（62）罩住，所述热电偶冷端（62）连接导线，导线将热电偶冷端（62）的信号引出至恒温箱（7）外。
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