[实用新型]一种粗抛机中心轮

摘要

一种粗抛机中心轮，用于生产单晶硅抛光片的抛光机上。中心轮由外圈的定位页片（1）和内圈的支撑轴（2）组成，内圈支撑轴（2）采用一体式结构设计，抛弃了轴承、密封环的复杂设计方式，杜绝了漏油、漏锈的可能性。定位页片（1）和支撑轴底座（6）通过四个丝孔相对、上下表面平齐的组装方式，避免了组装时偏转45度角的问题。中心轮整体通过固定法兰（3）安装固定在设备中心轴上，改变了中心轮安装固定在大盘上的方式，使中心轮定位载体盘准确，且中心轮和抛光布不接触。本实用新型结构设计简单，安装操作方便，易于维修，方便使用，克服了原有中心轮设计中存在的定位载体盘不准确和易产生抛光片沾污划伤的问题，降低了使用成本，提高了产品质量和工作效率。

主权项

一种粗抛机中心轮，其特征是：所述的一种粗抛机中心轮，主要是由四瓣形定位页片（1）和支撑轴（2）构成，其中支撑轴（2）为工形结构，包括有下端的支撑轴底座（6）、上端的固定法兰（3）和中间的空心连杆（5）；支撑轴底座（6）下部设有一个凸台（8），凸台（8）上均布四个支撑轴底座上丝孔（7）；定位页片（1）底部设有一个圆柱形空腔（9），圆柱形空腔（9）上均布的四个凹陷式螺栓孔对应定位页片（1）的四瓣页片；支撑轴（2）上端的固定法兰（3）上设置的四个固定法兰上丝孔（4）与定位页片（1）上均布的四个凹陷式螺栓孔对应；定位页片（1）通过过盈配合与支撑轴底座（6）组装成一体。