[实用新型]一种可拆卸式手动硅片上下料装置有效
| 申请号： | 201420269234.1 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN203938750U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 苗利刚;李海涛;吴跃峰 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种可拆卸式手动硅片上下料装置，用于单晶硅抛光片生产中卧式低压化学气相沉积炉上下料。本实用新型设计的硅片上下料装置，两个支撑三角架（1）固定在净化工作台支撑支架（12）上，两个支撑臂（3）与支撑三角架（1）固定连接在一起，支撑臂（3）可以旋转。两根支撑杆（2）固定在支撑臂（3）上。片盒槽（4）利用底部凸台（11），卡放在两个支撑杆（2）之上，可以在支撑杆（2）的上下料范围内滑动，并可防止片盒槽（4）掉落。本实用新型结构简单，拆装方便，几乎不占用原有操作空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可拆卸 手动 硅片 上下 装置 | ||
【主权项】：
一种可拆卸式手动硅片上下料装置，其特征是：可拆卸式手动硅片上下料装置主要由支撑三脚架（1）、支撑杆（2）、支撑臂（3）、片盒槽（4）、止动螺丝（5）、插销（6）、垫片（7）、内六角螺丝（8）、止动螺母（9）、圆 头销钉（10）构成；其中，两个支撑三角架（1）用内六角螺丝（8）和垫片（7）固定在净化工作台支撑支架（12）上；两个支撑臂（3）与支撑三角架（1）采用止动螺丝（5）和止动螺母（9）连接在一起，支撑臂（3）可以旋转，用插销（6）固定；两根支撑杆（2）用圆头销钉（10）固定在支撑壁（3）上；片盒槽（4）底部设有凸台（11），凸台（11）卡放在两个支撑杆（2）之上。
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