[实用新型]一种生长在金属Al衬底上的LED外延片有效
申请号: | 201420289063.9 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN203895485U | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 李国强 | 申请(专利权)人: | 广州市众拓光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/12;H01L33/00 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 汤喜友 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种生长在金属Al衬底上的LED外延片,其包括金属Al衬底、以金属Al衬底(111)晶面为外延面,在金属Al衬底上生长的Al2O3保护层,以及以晶体外延取向关系为GaN(0001)//Al2O3(0001)//Al(111),在Al2O3保护层上由下自上生长的U-GaN薄膜层、N-GaN薄膜层、InGaN/GaN多量子阱层、p型GaN薄膜。本实用新型通过选择合适的晶体取向,Al(111)衬底上获得的高质量GaN外延薄膜,以提高了LED的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 生长 金属 al 衬底 led 外延 | ||
【主权项】:
一种生长在金属Al衬底上的LED外延片,其特征在于:其包括金属Al衬底、以金属Al衬底(111)晶面为外延面,在金属Al衬底上生长的Al2O3保护层,以及以晶体外延取向关系为GaN(0001)//Al2O3(0001)//Al(111),在Al2O3保护层上由下自上生长的U‑GaN薄膜层、N‑GaN薄膜层、InGaN/GaN多量子阱层、p型GaN薄膜。
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