[实用新型]一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置，旨在解决石墨烯在基体上的快速连续生长问题，同时解决能量和原料无法得到有效利用的问题。通过卷材在反应腔体中U型排列或S型排列，实现了在反应腔体的一端连续进样和取样，连续生产；卷材的U型排列或S型排列有效利用了反应腔体内的空间，同时在相同生长时间内因卷材的多次卷绕提高了生长效率有效利用了能量，节约了成本；石墨烯在反应腔体内以卷材为基体快速生长，有效利用了反应腔体内的生长气体，节约了成本，提高了生产效率。

主权项

一种连续快速生长石墨烯的气相沉积装置，包括炉体(5)和反应腔体(1)，其特征在于，还包括驱动装置；且所述反应腔体(1)的端部开设有进样口和出样口，所述驱动装置能够带动基体(4)由所述进样口进入所述反应腔体(1)，由所述出样口离开所述反应腔体(1)。