[实用新型]用于光罩化学制程的夹具有效
| 申请号： | 201420304874.1 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN203887732U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B9/00 | 分类号： | B25B9/00 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种用于光罩化学制程的夹具，包括底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆。本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具通过采用由底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆构成的夹具，从而在化学制程中无需手工直接操作，化学制程操作更安全、无污染，快速高效。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述夹具包括底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市路维光电股份有限公司，未经深圳市路维光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420304874.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可自动调节叉扳手
- 下一篇：一种抛丸机的丸料循环系统
