[实用新型]药液回流装置有效
| 申请号： | 201420309895.2 | 申请日： | 2014-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN204185388U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 陈睿;林志明;廖子毅;陈宇新;黄耀乐 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201506 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种药液回流装置，包括：蚀刻槽、缓冲槽、水洗槽和储液槽；所述缓冲槽设置于所述水洗槽和所述蚀刻槽之间，且该蚀刻槽和所述缓冲槽均与所述储液槽贯通连接；以及所述缓冲槽和所述蚀刻槽中均设置有至少一风帘。本实用新型具有如下优点或者有益效果：在蚀刻槽和水洗槽之间增加缓冲槽，并在缓冲槽中设置至少一个风帘，通过蚀刻槽和缓冲槽中的双道风帘，完成对药液吹回的双重动作，减少玻璃基板表面药液的携出量，并进一步减少至水洗槽被置换掉的药液，有效减少机台药液浪费率，提高了药液的循环使用率，在保证正常药液寿命的条件下循环使用；可保证在量产情况下，节省大量药液。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 回流 装置 | ||
【主权项】：
一种药液回流装置，其特征在于，包括：蚀刻槽、缓冲槽、水洗槽和储液槽；所述缓冲槽设置于所述水洗槽和所述蚀刻槽之间，且该蚀刻槽和所述缓冲槽均与所述储液槽贯通连接；以及所述缓冲槽和所述蚀刻槽中均设置有至少一风帘。
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