[实用新型]一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置有效
| 申请号： | 201420311981.7 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN203904002U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王晓卫;王艳;王相君;周阿龙;王会娟;王智勇 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712038 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，包括：一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，一酸副槽，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，所述酸副槽内设置有列管式换热器，列管式换热器的一端连接有冷却水进口，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口。本实用新型构思巧妙，结构简章，能有效的缩短降温时间，增强连续作业性，安全性高，投资较少，可以稳定地控制化学反应，从而降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 清洗 降温 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，其特征在于，包括：一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，一酸副槽，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，所述酸副槽内设置有列管式换热器，列管式换热器的一端连接有冷却水进口，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口。
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