[实用新型]消除毛细管堵塞的装置有效

专利信息
申请号: 201420330721.4 申请日: 2014-06-19
公开(公告)号: CN203991539U 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 宋健 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: B08B9/027 分类号: B08B9/027;B08B13/00;G01N30/88
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供了一种消除毛细管堵塞的装置,包括:进液管以及容置清洗液的清洗瓶,所述进液管的一端连接毛细管,所述进液管的另一端插入所述清洗瓶内容置的清洗液中,清洗液通过进液管进至毛细管中,与毛细管中的堵塞物发生反应,以达到清除毛细管的堵塞的目的;并且,所述进液管插入清洗瓶中且位于所述清洗液面之下,方便清洗液进入进液管中;毛细管的另一端通过出液管连接至废液瓶,使得清洗液与堵塞物反应之后的废液流至废液瓶,方便废液的收集;在清洗瓶的进气管上安装有压力平衡阀,以保证清洗瓶中的清洗液连续的进入毛细管;同时,在出液管上安装有单向三通阀,单向三通阀的第三接口连接有蠕动泵,以保证整个装置的脉冲式负压。
搜索关键词: 消除 毛细管 堵塞 装置
【主权项】:
一种消除毛细管堵塞的装置,其特征在于,包括进液管以及容置清洗液的清洗瓶,所述进液管的一端连接毛细管,所述进液管的另一端插入所述清洗瓶内容置的清洗液中。
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