[实用新型]一种晶硅太阳能电池的背抛光装置

摘要

一种晶硅太阳能电池的背抛光装置，包括连通槽及反应槽，所述的连通槽底部与反应槽的底部连通，所述的连通处的反应槽上设置有回流管，回流管上设置有回流泵，回流管的另一端连接至连通槽顶部，所述的连通槽顶部还设置有药液补加管，所述反应槽的槽口下方设置有硅片支撑点，本实用新型化学抛光溶液通过连通槽从反应槽底部打入，药液在反应槽内从下而上流动，仅接触硅片背面，避免了药液对硅片正面绒面结构的腐蚀破坏，反应后药液即排出反应槽，使反应槽内药液浓度更加均匀，从而反应速率更加平稳，抛光效果更好，提高长波的内量子效应，改善长波响应，增加开路电压，提高太阳能电池光电转化效率。

主权项

一种晶硅太阳能电池的背抛光装置，包括连通槽及反应槽，其特征在于所述的连通槽底部与反应槽的底部连通，所述的连通处的反应槽上设置有回流管，回流管上设置有回流泵，回流管的另一端连接至连通槽顶部，所述的连通槽顶部还设置有药液补加管，所述反应槽的槽口下方设置有硅片支撑点。