[实用新型]一种用于盘状物的支撑装置

摘要

本实用新型公开了一种用于盘状物的支撑装置，用于支撑圆盘状的晶圆，装置的支撑脚采用L形外形，其L形竖直部分的上端设有各由至少一个面构成的晶圆支撑面及其外侧背靠的外倾斜面，外倾斜面的上端具有水平端面，支撑脚的L形水平部分与支撑环安装连接，支撑脚按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的向心方向安装在支撑环的滑行槽中。本实用新型可使支撑环整体缩小，避免晶圆从支撑环的内径处落地破碎，并能使晶圆平稳安放，具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积并降低晶圆破损率的显著特点，适于工厂推广。

主权项

一种用于盘状物的支撑装置，安装在半导体工艺设备晶圆传送系统中晶圆存储台的上端，用于支撑圆盘状的晶圆，包括安装在所述存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周的向心滑行槽中支撑晶圆的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为L形，其L形竖直部分的上端设有晶圆支撑面和所述晶圆支撑面外侧背靠的外倾斜面，所述晶圆支撑面、外倾斜面各由至少一个面构成，所述外倾斜面的上端具有水平端面，所述支撑脚的L形水平部分与所述支撑环安装连接；所述滑行槽的底面设有调节所述支撑脚沿所述支撑环向心方向距离的贯通腰形孔，所述支撑脚的L形水平部分设有安装孔，所述支撑脚的所述安装孔通过穿过所述支撑环的所述腰形孔的紧固件与所述支撑环连接；其中，所述支撑脚按其L形竖直部分位于外侧、L形水平部分位于内侧的向心方向安装在所述支撑环的所述滑行槽中。