[实用新型]晶硅片切割液清洁度在线检测装置

摘要

本实用新型涉及一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，旨在解决目前采用传统检测方式检测周期长、清洁度在生产时不能实时检测、造成生产效率低的技术问题，包括过滤池、清洁度监测机构；所述清洁度监测机构包括设置于所述过滤池内的清洁度检测计、与该清洁度检测计对应连接的主控单元，在所述过滤池的底部设置有出液口，该装置还包括与所述出液口对应连通的离心泵，在所述离心泵的出口端连接有与该出口连通的回流阀、排液阀，所述回流阀、排液阀与所述主控单元对应连接，所述离心泵经由对应的继电器与所述主控单元对应连接。本实用新型缩短了检测时间，避免了检测结果滞后的影响，同时保证了切割液生产产品的连续性和稳定性，提高了生产效率。

主权项

一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，包括过滤池、清洁度监测机构；其特征是：所述清洁度监测机构包括设置于所述过滤池内的清洁度检测计、与该清洁度检测计对应连接的主控单元，在所述过滤池的底部设置有出液口，该装置还包括与所述出液口对应连通的离心泵，在所述离心泵的出口端设有回流阀、排液阀，所述回流阀、排液阀与所述主控单元对应连接，所述离心泵经由对应的继电器与所述主控单元对应连接。