[实用新型]NOx传感器芯片

摘要

本实用新型涉及一种NOx传感器芯片，其主要特点为，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片以及第六基片从上到下依次叠压，所述的第一基片上表面设有泵氧外电极，所述的第二基片中包含第一空腔、第二空腔、第三空腔和第四空腔，之间设有气体扩散障层，所述的第三空腔内设有主泵氧电极，所述的第四空腔内设有辅助泵氧电极和测试电极，所述的测试电极上覆盖第二多孔保护层；所述的第四基片设有参比气体通道，通道顶部设有参比电极；所述的第五基片与所述的第六基片之间设有加热电极。采用该种结构的优势在于能够避免电极中金的挥发导致的污染、使基片烧结紧密结合、工艺过程简单结构简单、能对汽车尾气中氮氧化合物浓度精确测量。

主权项

一种NOx传感器的芯片，其特征在于，由基片层叠构成，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片以及第六基片从上到下依次叠压，所述的第一基片上表面设有泵氧外电极，所述的泵氧外电极上覆盖第一多孔保护层；所述的第二基片中包含第一空腔、第二空腔、第三空腔和第四空腔；所述的第一空腔与所述的第二空腔之间设有第一气体扩散障层，所述的第二空腔与所述的第三空腔之间设有第二气体扩散障层，所述的第三空腔与所述的第四空腔之间设有第三气体扩散障层，所述的第三空腔内设有主泵氧电极，所述的第四空腔内设有辅助泵氧电极和测试电极，所述的测试电极上覆盖第二多孔保护层；所述的第四基片设有与大气相连的参比气体通道，位于所述的参比气体通道的顶部且位于所述的第三基片的下表面设有参比电极；所述的第五基片与所述的第六基片之间设有加热电极。