[实用新型]一种晶圆扫描映射成像系统

摘要

本实用新型涉及一种晶圆扫描映射成像系统，包括承载工作台和若干枚晶圆；所述承载工作台上放置若干枚水平层叠的晶圆，且相邻的晶圆之间形成有既定间距，此外，在层叠晶圆一侧横向方向上依次设有光源以及凹透镜，在所述层叠晶圆另一侧横向方向上依次设有凸透镜、CCD图像传感器以及数据分析模块。本实用新型承载工作台和扫描系统均无需移动，即可获取晶圆的位置信息，改变了传统的检测方式，避免了晶圆的振动，可以减少因承载工作台或扫描系统因运动带来的损耗，同时整体扫描晶圆的方式更省时，可提高机台的生产效率以及扫描的精确性，对操作人员的人身也没有伤害。

主权项

一种晶圆扫描映射成像系统，包括承载工作台和若干枚晶圆；所述承载工作台上放置若干枚水平层叠的晶圆，且相邻的晶圆之间形成有既定间距，其特征在于，还包括：在层叠晶圆一侧横向方向上依次设有光源以及凹透镜，在所述层叠晶圆另一侧横向方向上依次设有凸透镜、CCD图像传感器以及数据分析模块；所述光源、凹透镜、凸透镜、CCD图像传感器以及数据分析模块均位于所述层叠晶圆整体高度的水平中心线上；其中，当所述光源发出光束，所述凹透镜收集并放大光束以覆盖所述层叠晶圆并形成晶圆阴影图像，所述凸透镜将晶圆阴影图像集中映射至所述CCD图像传感器并由所述CCD图像传感器转化为信号电荷，所述数据分析模块接收信号电荷并分析出晶圆的位置信息；其位置信息包括晶圆的有无、晶圆的直径、晶圆的数量或晶圆之间的间距。