[实用新型]一种硅掺杂砷化镓单晶直拉炉有效
| 申请号： | 201420358308.9 | 申请日： | 2014-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN203923443U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈淑仙 | 申请（专利权）人： | 陈淑仙 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌;钱成岑 |
| 地址： | 618307 四川省德阳市广*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种砷化镓单晶直拉炉,特别是一种硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，属于砷化镓单晶拉制装置技术领域；所述硅掺杂砷化镓单晶直拉炉包括炉体和设置于炉体内的提拉杆，所述提拉杆的下方设置有内坩埚，内坩埚下方还设置有可升降的外坩埚，所述外坩埚直径大于内坩埚直径，且内坩埚设置有穿透埚体并延伸至外坩埚的连通管道，所述连通管道将内坩埚和外坩埚连通；本实用新型的硅掺杂砷化镓单晶直拉炉设计巧妙，结构合理，在砷化镓单晶拉制过程中外坩埚能够有效的向内坩埚补充低掺杂浓度的熔体，以保证内坩埚熔体高度和掺杂浓度维持恒定，能够有效的降低溶质分凝效应引起的晶体掺杂不均匀现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 砷化镓单晶直拉炉 | ||
【主权项】：
一种硅掺杂砷化镓单晶直拉炉，包括炉体和设置于炉体内的提拉杆（1），其特征在于：所述提拉杆（1）的下方设置有内坩埚（2），内坩埚（2）下方还设置有可升降的外坩埚（3），所述外坩埚（3）直径大于内坩埚（2）直径，且内坩埚（2）设置有穿透埚体并延伸至外坩埚（3）的连通管道（4），所述连通管道（4）将内坩埚（2）和外坩埚（3）连通。
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