[实用新型]一种陶瓷用双开门真空镀膜机有效
| 申请号： | 201420362826.8 | 申请日： | 2014-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN204058586U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 曾小颖 | 申请（专利权）人： | 曾小颖 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362500 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种双开门真空镀膜机，包括真空室、弧蒸发源、真空系统、水冷系统和气路系统，所述真空室由固定设置的真空室本体和可装卸工件的室门组成，其特征在于：所述真空镀膜机设有两个分别铰接于真空室本体的左、右两侧的室门，该真空室本体及室门的外壁设有水冷槽，所述弧蒸发源的弧靶安装在真空室本体及室门上。根据本实用新型提供的双开门真空镀膜机，采用两个可装卸工件的室门，在一个室门与真空室本体进行工作时，另一个室门可装卸工件，节省了一半的工作时间，提高了工作效率，在两个室门和真空室本体上均设有弧蒸发源，并可根据镀膜的需要适当的增减从而设置成两个不同的真空室，而且在真空室本体和室门上均设置有水冷槽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 双开 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种陶瓷用双开门真空镀膜机，包括真空室、弧蒸发源、真空系统、水冷系统和气路系统，所述真空室由固定设置的真空室本体和可装卸工件的室门组成，其特征在于：所述室门设有两个，两个室门分别铰接于真空室本体的左、右两侧，该真空室本体及室门的外壁设有水冷槽，所述弧蒸发源的弧靶安装在真空室本体及室门上。
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