[实用新型]一种改进的曝光机靶标识别对准装置

摘要

本实用新型涉及光电显示行业中的机械设备领域，具体涉及一种改进的曝光机靶标识别对准装置，包括CCD摄像机、对准平台，其特征在于：所述对准平台设有与基板透明靶标位置相对应的透光孔，所述对准平台一侧与透光孔位置相对应处设有CCD摄像机，所述对准平台另一侧设有斜射光源；所述CCD摄像机镜头前端设有同轴光源；所述同轴光源照射方向垂直于对准平台，所述斜射光源照射方向与对准平台倾斜。本实用新型结构简单，通过设置两个不同颜色的光源，以不同的角度照射透明靶标，使得靶标与基板产生不同的色差及反射光，CCD摄像机能够有效地识别透明靶标，并通过位置调整装置来调整对准平台上基板的位置，使基板与MASK板对齐。

主权项

一种改进的曝光机靶标识别对准装置，包括对准平台（1）和CCD摄像机（5），其特征在于：所述对准平台（1）设有与基板透明靶标位置相对应的透光孔（11），所述对准平台（1）一侧与透光孔（11）位置相对应处设有CCD摄像机（5），所述对准平台（1）另一侧设有斜射光源（6）；所述CCD摄像机（5）镜头前端设有同轴光源（4）；所述同轴光源（4）照射方向垂直于对准平台（1），所述斜射光源（6）照射方向与对准平台（1）倾斜。