[实用新型]一种温度控制曝光机有效
申请号: | 201420373074.5 | 申请日: | 2014-07-07 |
公开(公告)号: | CN203941383U | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 王满根 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 杜军 |
地址: | 315806 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种温度控制曝光机。现有技术易导致曝光质量无法控制,造成产品缺陷。本实用新型包括:曝光平台,用以放置待曝光金属片材;发光部件,通过支撑结构设置于曝光平台上方;复数个光强传感器,均布于曝光平台上;控制器,分别连接光强传感器及发光部件,用以根据光强传感器的感应结果控制发光部件的发光强度;温度传感器,设置于曝光平台上,并与控制器连接;冷却装置,匹配于曝光平台,并与控制器连接。本实用新型根据待曝光金属片材的光环境调整发光部件的发光强度;光强传感器的感光部通过待曝光金属片材上的预制通孔进行感应,获得的感应结果更精确;当温度过高时冷却装置工作,进行降温,保持曝光区域处于合理的温度。 | ||
搜索关键词: | 一种 温度 控制 曝光 | ||
【主权项】:
一种温度控制曝光机,用于金属片材曝光,其特征在于,包括:曝光平台,用以放置待曝光金属片材;发光部件,通过支撑结构设置于所述曝光平台上方;复数个光强传感器,均布于所述曝光平台上;控制器,分别连接所述光强传感器及所述发光部件,用以根据所述光强传感器的感应结果控制所述发光部件的发光强度;温度传感器,设置于曝光平台上,并与所述控制器连接;冷却装置,匹配于所述曝光平台,并与所述控制器连接。
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