[实用新型]一种4寸静电卡盘有效
| 申请号： | 201420373827.2 | 申请日： | 2014-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN203983252U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种4寸静电卡盘，包括圆柱形负电极基体、正电极卡盘基座、绝缘套、负极导电柱、水道密封盖板，所述的正电极卡盘基座内部设置有圆柱形负电极基体，正电极卡盘基座右侧设置有水道密封盖板；圆柱形负电极基体通过绝缘套、绝缘螺丝、负极导电柱与正电极卡盘基座连接；圆柱形负电极基体为圆柱体，圆柱形负电极基体右侧设置有装载晶片的平面A。本实用新型结构合理，增大了晶片的有效加工面积，减少了晶片表面腐蚀物颗粒的沉积，通过冷却加热水道实现卡盘的温度控制，通过气体背吹来均衡晶片温度，极大地提高了生产效率；充分利用了晶片，减少了碎片现象，保证了产品的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 | ||
【主权项】：
一种4寸静电卡盘，包括圆柱形负电极基体（1）、正电极卡盘基座（2）、绝缘套（3）、负极导电柱（4）、水道密封盖板（5），其特征在于：所述的正电极卡盘基座（2）内部设置有圆柱形负电极基体（1），正电极卡盘基座（2）右侧设置有水道密封盖板（5）；圆柱形负电极基体（1）通过绝缘套（3）、绝缘螺丝、负极导电柱（4）与正电极卡盘基座（2）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于靖江先锋半导体科技有限公司;，未经靖江先锋半导体科技有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420373827.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于太阳能电池片组的转移装置
- 下一篇：一种纳米金属线导电薄膜
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
