[实用新型]一种由常通向常断状态转换的固态电子开关

摘要

本实用新型公开了一种由常通向常断状态转换的固态电子开关。本实用新型的固态电子开关包括：衬底、控制桥、绝缘层、金属互联、被控桥、钝化层、一对控制电极焊盘和一对被控电极焊盘；控制桥通过一对控制电极焊盘接入控制电路，从而接收来自控制电路的控制信号，被控桥通过一对被控电极焊盘接入被控电路。本实用新型的固态电子开关仅在状态转换的瞬间消耗电能，而在保持接通和断开的状态时均不需要消耗电能，具有双稳态特性；可以双向导通，不含任何可动部件，因此可以工作在恶劣的环境中；具备优秀的抗静电和电磁干扰的特性；基于集成电路半导体工艺，具有极好的与集成电路半导体工艺兼容性；可用作电火工品的短路保险开关。

主权项

一种由常通向常断状态转换的固态电子开关，其特征在于，所述固态电子开关包括：衬底(1)、控制桥(2)、绝缘层(3)、金属互联(7)、被控桥(4)、钝化层(5)、一对控制电极(21)焊盘(62)和一对被控电极(41)焊盘(64)；其中，控制桥(2)形成在衬底(1)上，包括一对控制电极(21)，以及连接二者的控制桥区(22)；绝缘层(3)覆盖在控制桥(2)上；绝缘层(3)上与控制桥(2)的一对控制电极(21)正对的位置设置有多个通孔，形成通孔阵列；被控桥(4)形成在绝缘层(3)上，包括一对被控电极(41)，以及连接二者的被控桥区(42)；一对被控电极(41)与一对控制电极(21)的位置不重叠；被控桥区(42)覆盖控制桥区(22)发生电爆的位置；钝化层(5)形成在被控桥(4)上；在钝化层(5)中，分别与一对控制电极(21)和一对被控电极(41)相对的地方设置有焊盘通孔，一对控制电极(21)焊盘(62)和一对被控电极(41)焊盘(64)分别通过焊盘通孔嵌入钝化层(5)；金属互联(7)通过绝缘层(3)上的通孔阵列，将一对控制电极(21)分别与一对控制电极(21)焊盘(62)电学互联；一对被控电极(41)分别与一对被控电极(41)焊盘(64)相接触形成电学互联；一对控制电极(21)焊盘(62)分别连接至控制电路的两端；一对被控电极(41)焊盘(64)分别连接至被控电路的两端。