[实用新型]一种气相二氧化硅表面处理装置

摘要

本实用新型公开了一种气相二氧化硅表面处理装置包括：汽化器用于将液态的硅烷类表面处理剂汽化；混合器与汽化器连接，混合器上有载气输入口，混合器用于将输入的汽化的硅烷类表面处理剂与载气混合；反应器与混合器连接，反应器内具有加热装置用于加热，使得输入的在载气中的汽化的硅烷类表面处理剂与气相二氧化硅逆向流动反应，得到经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅；成品料仓与反应器连接，用于接收经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅；冷凝器与反应器连接，用于将从反应器流出的尾气中的汽化的硅烷类表面处理剂冷凝回收。该气相二氧化硅表面处理装置通过冷凝器将硅烷类表面处理剂冷凝回收后，循环使用，降低生产成本。

主权项

一种气相二氧化硅表面处理装置，其特征在于，包括：汽化器，用于将液态的硅烷类表面处理剂汽化；混合器，与所述汽化器连接，所述混合器上有载气输入口，所述混合器用于将输入的汽化的硅烷类表面处理剂与载气混合；反应器，与所述混合器连接，所述反应器内具有加热装置用于加热，使得输入的在所述载气中的汽化的硅烷类表面处理剂与气相二氧化硅逆向流动进行反应，得到经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅；成品料仓，与所述反应器连接，所述成品料仓用于接收所述经过汽化的硅烷类表面处理剂处理的气相二氧化硅；冷凝器，与所述反应器连接，所述冷凝器用于将从所述反应器流出的尾气中的汽化的硅烷类表面处理剂冷凝回收。