[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括：硅基底；位于所述硅基底表面的绝缘层；位于所述绝缘层背离所述硅基底一侧的振膜；位于所述振膜背离所述绝缘层一侧的隔离层；位于所述隔离层背离所述振膜一侧的保护墙，所述保护墙完全覆盖所述隔离层的侧面；位于所述保护墙背离所述隔离层一侧的背极，从而在所述隔离层进行刻蚀，形成第二通孔的过程中，可以利用保护墙，对隔离层的侧壁进行保护，避免位于背极底部，第二通孔侧壁上的隔离层被掏空，进而解决了MEMS麦克风在后期信号拾取过程中，由于第二通孔侧壁上的隔离层被掏空而导致的压伤问题，改善了MEMS麦克风的性能，提高了MEMS麦克风的良率。

主权项

一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：硅基底，所述硅基底中具有背孔；位于所述硅基底表面的绝缘层，所述绝缘层中具有第一通孔；位于所述绝缘层背离所述硅基底一侧的振膜，所述振膜覆盖所述第一通孔；位于所述振膜背离所述绝缘层一侧的隔离层，所述隔离层中具有与所述第一通孔相对应的第二通孔；位于所述隔离层背离所述振膜一侧的保护墙，所述保护墙完全覆盖所述隔离层的侧面；位于所述保护墙背离所述隔离层一侧的背极，所述背极中具有多个间隔排列的穿孔。