[实用新型]基于压电陶瓷的精密工作台

摘要

一种基于压电陶瓷的精密工作台，涉及一种精密工作台。本实用新型的目的是为了解决现有精密工作台行程和测量距离比较小、测量精度不够的问题。本实用新型的一种基于压电陶瓷的精密工作台，包括信号处理单片机和光栅尺细分反馈部分，光栅尺细分反馈部分包括细分电路部分和精细分电路部分，细分电路部分包括正弦信号处理电路和余弦信号处理电路，两组电路输出端与CPLD芯片连接，PC上位机通过串口与信号处理单片机进行通信连接，信号处理单片机通过导线与粗位移部分连接，光栅尺细分反馈部分、信号处理单片机和精位移部分与形成闭环反馈回路。本实用新型测量量程大，精度高。

主权项

一种基于压电陶瓷的精密工作台，包括PC上位机(1)、信号处理单片机(2)、粗位移部分、精位移部分(B)和光栅尺细分反馈部分(14)，其特征在于：所述粗位移部分包括步进电机和滚珠丝杠(18)，所述精位移部分(B)包括压电陶瓷驱动器(A)和压电陶瓷(3)；所述PC上位机(1)通过串口与信号处理单片机(2)进行通信连接，信号处理单片机(2)通过导线分别与粗位移部分和精位移部分(B)连接，光栅尺细分反馈部分(14)、信号处理单片机(2)和精位移部分(B)形成闭环反馈回路；所述光栅反馈部分(14)包括细分部分和精细分部分(E)，所述细分部分包括正弦信号处理电路(C)、余弦信号处理电路(D)和CPLD芯片(8)，正弦信号处理电路(C)和余弦信号处理电路(D)均包括依次串联的隔直电路(4)、滤波电路(5)、跟随电路(6)和过零比较电路(7)，两组过零比较电路(7)输出端与CPLD芯片(8)连接；所述精细分部分(E)包括A/D转换模块(15)、构造函数模块(16)、查询模块(17)；经CPLD芯片(8)处理后的信号数据和查询模块(17)输出的信号数据均输入运算比较单片机(9)进行相加运算。