[实用新型]一种掩模板有效

专利信息
申请号: 201420472732.6 申请日: 2014-08-20
公开(公告)号: CN204058584U 公开(公告)日: 2014-12-31
发明(设计)人: 王劭颛 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 柴亮;张天舒
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提供一种掩模板。该掩模板包括第一膜层和第二膜层,第二膜层覆叠在第一膜层上,第一膜层采用无纺布或陶瓷板,第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。该掩模板通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板,第二膜层采用UV固化胶或热固化胶,使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量,从而使掩模板传送和使用起来更加方便;针对尺寸较大的掩模板,重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度,进而进一步确保掩模板的精密度;同时,上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变,从而保证了掩模板成膜的精密度。
搜索关键词: 一种 模板
【主权项】:
一种用于成膜的掩模板,包括第一膜层和第二膜层,所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上,其特征在于,所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板,所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。
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