[实用新型]一种投影物镜波像差在线检测干涉仪有效
| 申请号： | 201420482544.1 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN204028565U | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
一种投影物镜波像差在线检测干涉仪，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫散射光学元件组成，与多模光纤阵列共同用于将相干光或部分相干光的光源转化为非相干光。通过采集相移量分别为0、 |
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| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 波像差 在线 检测 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种投影物镜波像差在线检测干涉仪，其特征在于，包括：沿光源(1)输出光束方向依次放置的旋转散射器(2)、第一聚焦透镜(3)、光纤阵列(4)、第二聚焦透镜(5)、散射光学元件(6)、物面光栅板(7)、像面光栅板(10)、二维光电传感器(13)；所述的物面光栅板(7)置于物面光栅位移台(8)上，所述的像面光栅板(10)置于像面光栅位移台(11)上，所述的像面光栅位移台(11)经相移控制模块(12)与计算机相连，所述的二维光电传感器(13)与计算机相连(14)；所述的物面光栅板(7)位于被测光学系统(9)的物平面，所述的像面光栅板(10)位于被测光学系统(9)的像平面。
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