[实用新型]一种辅助硅片插片的装置

摘要

本实用新型公开了一种辅助硅片插片的装置，包括横梁、竖梁、横向移动装置、载片盒、伸缩装置及吸盘；横向移动装置设置在横梁的下方，具有能够沿横梁移动的移动块；伸缩装置的固定端连接移动块，伸缩端连接吸盘；竖梁竖直安装在横梁的一端，载片盒固定在竖梁的一侧并位于横梁的下方；载片盒内具有传感器、喷气嘴、托片盘和升降装置，传感器和喷气嘴均位于载片盒的上边缘的内侧，升降装置能够控制托片盘在载片盒内上下移动。该装置可以将散片传递给自动插片设备，辅助完成散片的插片工作，减少了操作人员对硅片的接触，降低了产品的不合格率，也不增加操作人员的工作量。

主权项

一种辅助硅片插片的装置，其特征在于，包括横梁(1)、竖梁(2)、横向移动装置、载片盒(3)、伸缩装置及吸盘(4)；所述横向移动装置设置在所述横梁(1)的下方，具有能够沿所述横梁移动的移动块；所述伸缩装置的固定端连接所述移动块，伸缩端连接所述吸盘(4)；所述竖梁(2)竖直安装在所述横梁(1)的一端，所述载片盒(3)固定在所述竖梁(2)的一侧并位于所述横梁(1)的下方；所述载片盒(3)内具有传感器(5)、喷气嘴(6)、托片盘(7)和升降装置，所述传感器(5)和所述喷气嘴(6)均位于所述载片盒(3)的上边缘的内侧，所述升降装置能够控制所述托片盘(7)在所述载片盒(3)内上下移动。