[实用新型]一种晶棒切割系统有效
| 申请号： | 201420509279.1 | 申请日： | 2014-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN204036680U | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 马志明 | 申请（专利权）人： | 苏州洛特兰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连围 |
| 地址： | 215101 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种改良的晶棒切割系统，本晶棒切割系统包括一个由金属切割丝等距、平行排布所成的金属丝平面；在所述金属丝平面的上方，有一对与所述金属丝平面垂直的活动夹板，有一夹板控制器调节所述活动夹板的开合及上下移动；在这对所述活动夹板的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱；在所述金属丝平面的下方，有一块与金属丝平面平行的活动支撑板；在所述支撑板的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板。该晶棒切割系统不需要用胶体固定晶棒即可将晶片切割，简化作业流程，提高工作效率；同时，改良了晶棒运送到金属丝平面的作业流程，有效减少晶棒损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 系统 | ||
【主权项】：
一种晶棒切割系统，本晶棒切割系统包括一个由金属切割丝等距、平行排布所组成的金属丝平面(3)；其特征在于：在所述金属丝平面(3)的上方，有一对与所述金属丝平面(3)垂直的活动夹板(1)，有一夹板控制器调节所述活动夹板(1)开合及上下移动；在这对所述活动夹板(1)的内壁上有限制晶棒轴向位移的限位棱(11)；在所述金属丝平面(3)的下方，有一块与金属丝平面(3)平行的活动支撑板(4)；所述活动支撑板(4)由支撑板控制器调节其上下及左右移动；在所述活动支撑板(4)的两侧，装置一对与上述活动夹板结构相同的定位板(2)。
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