[实用新型]一种石英挠性加速度传感器有效
申请号: | 201420511910.1 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN204116382U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 杜琨 | 申请(专利权)人: | 廊坊市北斗神舟测控仪器有限公司 |
主分类号: | G01P15/00 | 分类号: | G01P15/00 |
代理公司: | 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 | 代理人: | 陈曦;贾兴昌 |
地址: | 065000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种石英挠性加速度传感器,由表头和集成电路组成,表头内部的表芯还包括盖板、下力矩器和位于盖板和下力矩器之间的玻璃摆片,玻璃摆片弓形环状的支撑环(1)、挠性支撑梁(2)和摆(3),支撑环(1)位于所述摆(3)的外缘,摆(3)通过挠性支撑梁(2)和支撑环(1)连接;其中,玻璃摆片还包括摆舌(4),设置在左右两侧的挠性支撑梁(2)的中空空间中,摆舌(4)的一端与挠性支撑梁(2)相连接,另一端为自由端,摆舌的厚度与玻璃摆片的厚度相同。本实用新型通过测量摆舌的厚度,间接测量了挠性支撑梁的厚度,从而解决了挠性支撑梁不易测量的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
一种石英挠性加速度传感器,由表头和集成电路组成,所述表头内部的表芯还包括盖板、下力矩器和位于盖板和下力矩器之间的玻璃摆片,其特征在于:所述玻璃摆片弓形环状的支撑环(1)、挠性支撑梁(2)和摆(3),所述支撑环(1)位于所述摆(3)的外缘,所述摆(3)通过所述挠性支撑梁(2)和所述支撑环(1)连接;其中,所述玻璃摆片还包括摆舌(4),所述摆舌(4)设置在左右两侧的挠性支撑梁(2)的中空空间中,所述摆舌(4)的一端与所述挠性支撑梁(2)相连接,另一端为自由端,所述摆舌的厚度与玻璃摆片的厚度相同。
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