[实用新型]一种大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构有效
申请号: | 201420515829.0 | 申请日: | 2014-09-10 |
公开(公告)号: | CN204111924U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 唐青岗;魏国;吴金友;陶勇;杨维兵 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人: | 刘喜莲 |
地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型是一种大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,包括由上保温板、下保温板和侧保温板围成的隔热笼,上保温板上设有伸入到隔热笼内的进气管,在隔热笼内下部设有定向凝固块,定向凝固块的下部设有若干根支撑定向凝固块的石墨支撑柱,在定向凝固块上设有石墨坩埚,石墨坩埚内设有石英坩埚,在石墨坩埚的周围设有石墨加热器,在石墨坩埚的底部四周与侧保温板之间设有与侧保温固定的隔温板。本实用新型通过对热场内部结构,外形及尺寸重新设计和布局,使其能铸造大尺寸硅锭,大大的提高生产产能;同时使用专门的加热装置和进气装置与铸造大尺寸硅锭工艺相匹配,控制理想的长晶固液界面,有效排杂,减少晶体缺陷,有效提高大尺寸硅锭晶体质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 多晶 铸锭 新型 结构 | ||
【主权项】:
一种大尺寸硅锭多晶铸锭炉新型热场结构,其特征在于:包括由上保温板、下保温板和侧保温板围成的隔热笼,上保温板上设有伸入到隔热笼内的进气管,在隔热笼内下部设有定向凝固块,定向凝固块的下部设有若干根支撑定向凝固块的石墨支撑柱,在定向凝固块上设有石墨坩埚,石墨坩埚内设有石英坩埚,在石墨坩埚的周围设有石墨加热器,在石墨坩埚的底部四周与侧保温板之间设有与侧保温固定的隔温板。
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