[实用新型]防止样品静电损伤的装置有效
申请号: | 201420516477.0 | 申请日: | 2014-09-09 |
公开(公告)号: | CN204167314U | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 于奎龙;朱熙 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及到半导体集成电路领域,尤其涉及一种防止样品静电损伤的装置,通过在一壳体中设有若干均匀并排的插槽,每个插槽内均具有针脚,所有针脚均通过一金属线进行短接;将一具有针脚的待测样品插入该装置的插槽中进行测试分析时,因该装置中所有的针脚短接,静电电荷会均匀的分布,待测样品中不同针脚的电势相同,因此一定程度上避免了静电放电对待测样品的损伤;并且当进行多种测试分析时亦可以实时静电防护,同时提高测试分析的效率,节约测试分析的成本。 | ||
搜索关键词: | 防止 样品 静电 损伤 装置 | ||
【主权项】:
一种防止样品静电损伤的装置,其特征在于,所述装置包括:一壳体,所述壳体顶部设有两列若干均匀并排的插槽,且各列插槽均与另一列插槽一一对应的在同一直线上重合;各所述插槽内均对应设置有一针脚;一金属导线,设于所述壳体内,所述金属导线用于短接所述针脚。
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