[实用新型]FCCSP全自动在线清洗机

摘要

本实用新型属于清洗设备，具体涉及的是一种自动晶片覆晶载板清洗机。本清洗机中化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。本实用新型采用上胶辊和下胶辊配合夹装覆晶载板，在胶辊上设置环形扫风槽，在风刀向覆晶载板扫风的时候，高速空气可以通过扫风槽通过覆晶载板表面，同时扫风槽设有多个且均匀分布，可以提供更大面积的向覆晶载板扫风面积，扫风槽的设置使得清除清洗液的效率更高。

主权项

FCCSP全自动在线清洗机，包括机体，其特征在于：所述机体内设置用于传送覆晶载板的两个水平设置的上胶辊组和下胶辊组，上胶辊组和下胶辊组分别包括多个胶辊，所述上胶辊组和下胶辊组之间设有用于覆晶载板通过的间隙，在上胶辊组和下胶辊组的上方且沿覆晶载板运行方向上依次设置有化学清洗室、化学隔离室、DI水预洗室、第一风切干燥室、DI水漂洗室、喷淋室、第二风切干燥室和热风干燥室，所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中均安装有上风刀和下风刀，所述上风刀和下风刀用于清理覆晶载板表面的清洗液体，所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，所述扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，所述扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，所述胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。