[实用新型]通用芯片外观检测机

摘要

本实用新型属于集成电路芯片制造检测技术领域，公开了一种通用芯片外观检测机，包括机架、并排设置在所述机架上的上料轴、NG轴和良品轴，在所述上料轴的中间位置上方设置反面检测吸嘴机构和反面检测相机，所述反面检测吸嘴机构包括反面检测吸嘴轴和反面检测吸嘴，在所述上料轴、NG轴和良品轴的前端的上方设置料盘搬运机构、选拣吸嘴机构和正面检测相机，所述料盘搬运机构包括料盘搬运轴和搬运夹爪，所述选拣吸嘴机构包括选拣吸嘴轴和选拣吸嘴，在所述上料轴的下方设置料盘拆码机构。本实用新型通过面检测、搬运、正面检测等一系列工序使芯片的外观检测的自动化过程。

主权项

一种通用芯片外观检测机，其特征在于：包括机架、并排设置在所述机架上的上料轴、NG轴和良品轴，在所述上料轴的中间位置上方设置反面检测吸嘴机构和反面检测相机，所述反面检测吸嘴机构包括反面检测吸嘴轴和反面检测吸嘴，在所述上料轴、NG轴和良品轴的前端的上方设置料盘搬运机构、选拣吸嘴机构和正面检测相机，所述料盘搬运机构包括料盘搬运轴和搬运夹爪，所述选拣吸嘴机构包括选拣吸嘴轴和选拣吸嘴，在所述上料轴的下方设置料盘拆码机构，所述料盘拆码机构将料盘提升至所述上料轴上，通过所述上料轴上的传送机构将料盘传送至所述反面检测吸嘴机构处，所述反面检测吸嘴机构将所述料盘内的芯片送至所述反面检测相机处进行反面检测，反面检测完成后，所述上料轴上的传送机构将料盘传送至料盘搬运机构，所述料盘搬运机构将所述料盘搬运至所述NG轴或良品轴，再由所述选拣吸嘴机构将料盘上的芯片送至所述正面检测相机处进行正面检测。