[实用新型]提拉杆防抖动系统及激光晶体炉有效
| 申请号： | 201420546349.0 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN204125565U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 黄晋强;权纪亮 | 申请（专利权）人： | 广州半导体材料研究所 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王园园;万志香 |
| 地址： | 510610 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提拉杆防抖动系统及激光晶体炉，所述提拉杆防抖动系统包括密封元件、中空管、提拉杆及用于驱动所述提拉杆升降运动的滑动装置，所述中空管的一端与密封元件的一端密封连接，所述密封元件的另一端与所述滑动装置密封连接，所述提拉杆的一端连接于所述滑动装置，另一端穿过所述密封元件及中空管，并延伸至晶体炉顶部的通孔内。所述激光晶体炉包括所述提拉杆防抖动系统。本实用新型涉及的提拉杆防抖动系统避免硅胶圈变形，避免提拉杆抖动。本实用新型涉及的激光晶体炉晶体的生长质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 拉杆 抖动 系统 激光 晶体 | ||
【主权项】：
一种提拉杆防抖动系统，其特征在于，包括密封元件、中空管、提拉杆及用于驱动所述提拉杆升降运动的滑动装置； 所述中空管的一端与密封元件的一端密封连接，所述密封元件的另一端与所述滑动装置密封连接； 所述提拉杆的一端连接于所述滑动装置，另一端穿过所述密封元件及中空管，并延伸至晶体炉顶部的通孔内。
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