[实用新型]一种电子真空泵及其叶轮

摘要

本实用新型提供了一种用于电子真空泵的叶轮，包括偏心设置在电子真空泵的定子内的转子，以及多个叶片，所述转子上均匀开有多个叶片槽，所述叶片第一端插入所述叶片槽，第二端与所述定子内壁接触，所述叶片第二端包覆有烧结碳层，所述转子中与所述定子内壁接触的外圆周面包覆有烧结碳层。本实用新型还提供了一种电子真空泵，包括如上所述的叶轮。本实用新型公开的电子真空泵及其叶轮具有自润滑的作用。

主权项

一种用于电子真空泵的叶轮，包括 偏心设置在电子真空泵的定子内的转子，以及多个叶片， 所述转子上均匀开有多个叶片槽，所述叶片第一端插入所述叶片槽，第二端与所述定子内壁接触， 其特征在于， 所述叶片第二端包覆有烧结碳层，所述转子中与所述定子内壁接触的外圆周面包覆有烧结碳层。