[实用新型]一种热重分子束质谱联用装置

摘要

本实用新型涉及一种热重分子束质谱联用装置。包括热重分析仪、质量分析器、电离源、和分子束取样机构；所述电离源包括依次连接的三个电极；所述分子束取样机构具有二级差分抽气结构，其一端连通着热重分析仪的加热炉，另一端连接电离源的电离腔，并对应着电离区域；分子束取样机构为二级差分结构，包括管状的加热炉和取样喷嘴，加热炉内坩埚上的被测物在温度作用下产生逸出产物，逸出产物在气压作用下经过分子束取样机构进入电离源，再进入质量分析器，气压逐级递减，逸出产物在电离源的电离腔内形成分子束。

主权项

一种热重分子束质谱联用装置，包括热重分析仪（1）和质量分析器（4），其特征在于：还包括电离源（3）和分子束取样机构（2）；所述电离源（3）包括管状的电离腔和依次连接的第一电极（31）、第二电极（32）、第三电极（33），第三电极（33）的末端连接着质量分析器（4）的加速电极；分子束取样机构（2）为二级差分结构，包括管状的加热炉（12）和取样喷嘴，加热炉（12）内中部同轴设有坩埚（13），坩埚（13）的底部连通着支撑杆的上端，支撑杆的下端连通着热重分析仪（1）的天平；加热炉（12）内上部同轴设有取样喷嘴，取样喷嘴为二级差分结构，其下端为进口，且进口位于坩埚（13）的上方；加热炉（12）的上端连接电离源（3）的电离腔，且对应着第一电极（31）和第二电极（32）之间的电离区域；加热炉（12）的下端密封连接着热重分析仪（1）的外壳体；所述坩埚（13）上的被测物在温度作用下形成逸出产物（23），逸出产物（23）在气压作用下经过分子束取样机构（2）进入电离源（3），再进入质量分析器（4），气压逐级递减，逸出产物（23）在电离源（3）的电离腔内形成分子束。