[实用新型]真空溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201420564414.2 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN204198843U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 余华骏;江维;饶志刚 | 申请（专利权）人： | 咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 437000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种真空溅射镀膜装置，包括腔体、设于腔体内的靶材、多个传递辊以及多个挡板组件，所述腔体底部为阳极，所述靶材为阴极，所述传递辊用于传递被镀物，每一挡板组件设置在相邻的两个传递辊之间，且与腔体底部绝缘连接，该挡板组件包括固定板，绝缘件及挡板，所述固定板与腔体底部固定连接，所述绝缘件连接设置在固定板与挡板之间并使挡板与固定板、腔体底部绝缘。本实用新型通过对挡板组件作模组化设计，并借助绝缘件的设置，不但可保证挡板与腔体的绝缘性能，还能优化挡板组件的组装效率，使挡板组件拆装更为便利。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空溅射镀膜装置，包括腔体、设于腔体内的靶材、多个传递辊以及多个挡板组件，所述腔体底部为阳极，所述靶材为阴极，所述传递辊用于传递被镀物，每一挡板组件设置在相邻的两个传递辊之间，且与腔体底部绝缘连接，其特征在于，该挡板组件包括固定板，绝缘件及挡板，所述固定板与腔体底部固定连接，所述绝缘件连接设置在固定板与挡板之间并使挡板与固定板、腔体底部绝缘。
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