[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括接线板上固定MEMS芯片与ASIC芯片，呈罩状将MEMS芯片与ASIC芯片共同罩住并与接线板封装的外壳，MEMS芯片底边通过固定胶与所述接线板粘接固定，所述固定胶固定MEMS芯片底部的任一单边或几个点，固定胶具有一定厚度使MEMS芯片底边与接线板之间产生间隙，使MEMS芯片的内凹腔同外壳与接线板封装形成的腔体导通形成背腔；外壳内壁设置密封件，密封件与外壳内壁密封形成与背腔相隔开的前腔，前腔通过外壳上设置的音孔与外界联通；本实用新型的MEMS麦克风不改变MEMS芯片结构，而是利用外壳内腔与MEMS芯片的内凹腔导通形成大空间背腔，使麦克风信噪比产生大幅度提升。

主权项

一种MEMS麦克风，包括各自固定在接线板上的具有内凹腔的MEMS芯片与ASIC芯片，所述MEMS芯片的内凹腔与接线板相对，所述MEMS芯片与ASIC芯片之间通过金属导线连接，以及呈罩状的将MEMS芯片与ASIC芯片共同罩住的外壳，所述外壳边缘与接线板封装，其特征在于，所述MEMS芯片底边通过固定胶与所述接线板粘接固定，所述固定胶固定MEMS芯片底部的任一单边，或固定MEMS芯片底边的几个点，所述固定胶具有一定厚度使MEMS芯片底边与接线板之间产生间隙，所述间隙使MEMS芯片的内凹腔同外壳与接线板封装形成的腔体导通形成背腔；所述外壳内壁设置具有内空间的密封件，所述密封件与外壳内壁密封形成与背腔相隔开的前腔，所述前腔通过外壳上设置的音孔与外界联通。