[实用新型]废硅粉无害处理装置

摘要

本实用新型提供一种废硅粉无害处理装置，属于半导体产业技术领域，废硅粉加料器连接氢气发生器，进水管连通到氢气发生器上，氢气发生器上设置有搅拌机，氢气发生器顶部通过设置有气体流量计的氢气管道连接氢气过滤器，氢气过滤器下游通过氢气管道连接有氢气压缩机，氢气压缩机通过氢气管道连接到氢气储罐。该废硅粉无害处理装置利用废硅粉的处理，一方面制造了氢气能源，另一方面废硅粉的处理经过循环水的上下游连接设计，能够保持水相的循环利用，以及酸液的回收重利用，从而得到精提废硅粉的化学副产物，使化学副产物得到有效的回收和利用，节能减排，更加绿色环保。

主权项

废硅粉无害处理装置，其特征在于包括废硅粉加料器和氢气发生器，废硅粉加料器（D2）连接氢气发生器（D），进水管连通到氢气发生器（D）上，氢气发生器（D）上设置有搅拌机（D3），氢气发生器（D）顶部通过设置有气体流量计（E）的氢气管道连接氢气过滤器（C），氢气过滤器（C）下游通过氢气管道连接有氢气压缩机（B），氢气压缩机（B）通过氢气管道连接到氢气储罐（A1,A2）；氢气发生器（D）底部设置有排料管，排料管连接储料池（G1），储料池（G1）下游连接离心机（G2），离心机（G2）下游分两路：离心机（G2）下游一路经固体通道连接搅拌池（H1），搅拌池（H1）经砂浆管路连接离心机（H2），离心机（H2）同时连接搅拌机（H3）和储水池（L3），搅拌机（H3）下游连接离心机（H4），离心机（H4）回流连接储水池（L3），离心机（H4）下游连接搅拌池（H5），搅拌池（H5）连接压滤机（H6），压滤机（H6）下游连接搅拌池（H7），搅拌池（H7）下游连接平板离心机（H8），平板离心机（H8）回流连接到储水池（L3），平板离心机（H8）下游连接烘干分级器（H9），烘干分级器（H9）下游连接碳化硅收集器（H10）；压滤机（H6）下游连接酸液池（H11）, 酸液池（H11）连接酸液超滤器（H12）, 酸液超滤器（H12）连接酸液池（L2）；离心机（G2）下游另一路经液体管路连接搅拌池（G3）, 搅拌池（G3）下游连接超滤器（G4），超滤器（G4）下游连接压滤机（G5），压滤机（G5）回流连接搅拌池（G3），压滤机（G5）下游连接搅拌池（G6），搅拌池（G6）下游连接压滤机（G7），压滤机（G7）下游连接烘干分级器（G8）, 烘干分级器（G8）下游连接纳米级碳化硅收集器（G9）；压滤机（G7）下游连接储水池（L1）, 储水池（L1）回流连接搅拌池（H1）；超滤器（G4）下游同时连接反应池（K1）, 酸液池（L2）下游连接反应池（K1）， 反应池（K1）下游连接压滤机（K2），压滤机（K2）下游连接脱盐器（K3），脱盐器（K3）下游连接纯水池（K4），纯水池（K4）下游同时连接搅拌池（G6）和搅拌池（H7），压滤机（K2）下游连接烘干机（K5），烘干机（K5）下游连接成品硅酸收集器（K6），脱盐器（K3）下游连接氯化钠结晶器（K7），氯化钠结晶器（K7）下游连接固体氯化钠收集器（K8）；储水池（L3）下游连接氢气发生器（D）。